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當前位置:首頁產品中心波前分析設備波前分析儀紫外高分辨率波前傳感器-SID4-UV-HR

紫外高分辨率波前傳感器-SID4-UV-HR
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產品型號:

更新時間:2025-09-02

廠商性質:生產廠家

訪 問 量 :344

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產品介紹

SID4-UV-HR是Phasics針對半導體應用市場需求推出的高性能的紫外波前分析儀,波長范圍覆蓋190nm~400nm,靶面尺寸為13.3X13.3mm2,提供512X512的采樣率,同時能夠提供26um的相位空間分辨率;該產品大的靶面設計及高達512X512的相位分辨率,滿足了目前半導體紫外鏡頭的表征測試需求;

應用領域:193nm激光光束測量

半導體設備用鏡頭測量

半導體表面缺陷測量

 

SID4-UV-HR指標規格

波長范圍

190nm~400nm

靶面尺寸

13.3X13.3mm2

相位空間分辨率

26um

相位譜&光強譜采樣率

512X512

相位分辨率

<2nm   RMS

精度

20nm RMS

采樣頻率

15fps

實時相位輸出頻率

3fps(全分辨率)

通信接口

USB3.0

尺寸

80.3 x 78.6x 108.2mm3

重量

約600g

 


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